SINTAIKESTK-5150半自动晶圆撕膜机

来源:
深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
日期:
2023年6月8日
SINTAIKE_STK-5150半自动晶圆撕膜机





SINTAIKE半自动晶圆撕膜机STK-5150规格:

晶圆尺寸: 8” &12”晶圆;

厚度:150 ~ 750微米;

晶圆种类:硅;平边或V型缺口晶圆;

撕胶膜种类:撕膜胶带;

宽度:100~150毫米;

长度:100米;

撕膜角度:<45度,并且在 5°~45°可调节;

撕膜温度:室温到100 ℃范围可调,控温精度+/-3℃;

装卸方式:晶圆手动放置与取出;

防静电控制:离子风扇;

控制单元:基于PLC 控制,并配有5.7”触摸屏;

驱动单元:伺服马达驱动;

安全保护:配置紧急停机按钮;

电源电压:单相交流电220V,10A;

压缩空气:5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟80升/分钟;

机器外壳:白色喷塑金属外壳;

机器指示:三色灯塔显示机台工作状态;

体积:950毫米(宽)x1500毫米(深)x1800毫米(高);

净重:300公斤;





SINTAIKE晶圆撕膜机性能

晶圆收益:≥99.9%;

撕膜质量:无裂片;

每小时产能:≥ 80片晶圆;

更换产品时间:≤ 5分钟;







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