贴膜机STK-7120晶圆切割

来源:
深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
日期:
2023年6月8日
贴膜机STK-7120晶圆切割膜







贴膜机STK-7120晶圆切割膜规格:

晶圆直径:8”& 12”;

晶圆厚度:150~750微米;

晶圆种类:硅, 砷化镓或其它材料;

                单边,双边,V型缺口;

膜种类:蓝膜或者UV膜;

             宽度:300~400毫米;

             长度:100米;

             厚度:0.05~0.2毫米;

晶圆承载环:8”DISCO 或者 K&S 标准;

                   12”DISCO 或者 K&S 标准;

                   客户制定标准;

贴膜原理:防静电滚轮贴膜;

晶圆台盘:通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘;或硅胶台盘;或多孔金属台盘;或陶瓷台盘;

装卸方式:晶圆/承载环手动放置与取出;

防静电控制:防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/离子风扇;

切割系统:手动轨迹式圆切刀和直切刀;

晶圆定位:通用标线/弹簧定位销;

控制单元:基于PLC 控制,带5.7”触摸屏;

安全防护:配置紧急停机按钮;

电源电压:单相交流电220V,5A;

压缩空气:5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺;

机器外壳:白色喷塑金属外壳;

体积:670毫米(宽)*1180毫米(深)*1000毫米(高);

净重:110公斤;





晶圆切割贴膜机性能:

晶圆收益:≥99.9%;

贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

每小时产能:≥ 80片晶圆;

更换产品时间:≤ 5分钟。





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